設備の詳細情報

ID	639
設備名	走査型電子顕微鏡（FE-SEM）
型式	S-4300（EDX　EX-220）
メーカー	日立ハイテクノロジーズ
設備分野	分析・構造解析
設備紹介URL	https://www1.gifu-u.ac.jp/~lsrc/dia/instrument/TEM.html
設備概要	S-4300は電界放出型電子銃（FEG）を備えた装置で、加速電圧は0.5 ~ 30 kVの範囲で可変することが可能であり、倍率は20 - 500,000倍、分解能は1.5 nm（15 kV）および 5.0 nm（1 kV）である。高輝度な電子銃により、低加速電圧、例えば、1 kVでも高分解像を得ることが可能である。また、低加速電圧にて、無蒸着観察できる試料もある。装備されたX線分析装置EX-220は炭素などの元素分析ができる。
設置場所	東海国立大学機構岐阜大学総合研究棟2　1階　機器分析室(6)
部局名	-
管理施設・講座名（利用料振込先）	東海国立大学機構岐阜大学　高等研究院　科学研究基盤センター　機器分析分野
共用対象	機構内外
予約方法	メール予約
お問合せ先等	kiki@gifu-u.ac.jp　（科学研究基盤センター　機器分析分野）