設備の詳細情報

ID	638
設備名	走査型電子顕微鏡（N-SEM）
型式	S-3000N
メーカー	日立ハイテクノロジーズ
設備分野	分析・構造解析
設備紹介URL	https://www1.gifu-u.ac.jp/~lsrc/dia/instrument/TEM.html
設備概要	S-3000Nは通常のタングステンヘアピン型（熱電子放出型）電子銃を備えた装置であり、加速電圧が0.3 ~ 30 kVの範囲で使用する。倍率は5 ~ 300,000倍で、二次電子像分解能は3.0 nm（高真空モード、加速電圧25 kV）、反射電子像分解能は4.0 nm（低真空モード、加速電圧 25 kV）である。このSEMの特徴は、低真空270 Pa（約 2 torr）で試料の観察が可能なことである。
設置場所	東海国立大学機構岐阜大学総合研究棟2　1階　機器分析室(6)
部局名	-
管理施設・講座名（利用料振込先）	東海国立大学機構岐阜大学　高等研究院　科学研究基盤センター　機器分析分野
共用対象	機構内外
予約方法	メール予約
お問合せ先等	kiki@gifu-u.ac.jp　（科学研究基盤センター　機器分析分野）