設備の詳細情報

ID	625
設備名	電界放出型電子顕微鏡
型式	S-4800　（Ultimmax100）
メーカー	日立ハイテクノロジーズ
設備分野	分析・構造解析
設備紹介URL	https://www1.gifu-u.ac.jp/~lsrc/dia/instrument/TEM.html
設備概要	S-4800は電界放出型電子銃（FEG）を備えた装置で、S-4300より性能と使い勝手が向上している。試料のX-Y移動および回転の3軸が電動で調整できる。加速電圧が15 kVで1.0 nm、1 kVでも2 nmの高分解能を有する。試料ステージにマイナスの電圧をかけ、入射電子を減速するリターディング機能を用いると1 kVで1.4 nmの分解能が得られる。X線分析装置(EDS)Ultim MAX100が接続されており、SEM像に合わせて元素分析が可能である。
設置場所	東海国立大学機構岐阜大学総合研究棟2　1階　機器分析室(6)
部局名	-
管理施設・講座名（利用料振込先）	東海国立大学機構岐阜大学　高等研究院　科学研究基盤センター　機器分析分野
共用対象	機構内外
予約方法	メール予約
お問合せ先等	kiki@gifu-u.ac.jp　（科学研究基盤センター　機器分析分野）