設備ID=553

お知らせ

共通	利用申請書の提出と実験装置取扱い講習会で取扱いを習得してからの利用となります。学外の方が使用する場合、システムで表示される料金とは異なる可能性がありますので、実際の利用料金は以下でご確認ください。コチラのサイト

設備の詳細情報

ID	553
設備名	ICPエッチング装置
型式	RIE-200iPN
メーカー	サムコ株式会社
設備分野	材料プロセス
設備紹介URL	http://nanofab.engg.nagoya-u.ac.jp/equipment.html
設備概要	使用ガス：Cl2, BCl3, O2、試料サイズ：2インチx 3枚、
設置場所	ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー(VBL)1階107室
部局名	工学研究科
管理施設・講座名（利用料振込先）	DII協働卓越大学院プログラム
共用対象	機構内外
予約方法	本システムから予約
お問合せ先等	http://nanofab.engg.nagoya-u.ac.jp/index.html

利用制限

予約：機構内	利用可能日	一年中	利用可能時間帯	00:00～24:00	予約単位	60 分
	予約可能期限	本日から14 日	期限内予約時間制限	制限なし	予約利用	○
	利用資格申請	要	予約時承認	要	作業依頼	×
予約：機構外>非営利	利用可能日	一年中	利用可能時間帯	00:00～24:00	予約単位	60 分
	予約可能期限	本日から14 日	期限内予約時間制限	制限なし	予約利用	○
	利用資格申請	要	予約時承認	要	作業依頼	×
予約：機構外>営利	利用可能日	一年中	利用可能時間帯	00:00～24:00	予約単位	60 分
	予約可能期限	本日から14 日	期限内予約時間制限	制限なし	予約利用	○
	利用資格申請	要	予約時承認	要	作業依頼	×
予約：特例>設備管理者利用	利用可能日	一年中	利用可能時間帯	00:00～24:00	予約単位	60 分
	予約可能期限	本日から52 日	期限内予約時間制限	制限なし	予約利用	○
	利用資格申請	不要	予約時承認	不要	作業依頼	×
予約：特例>設備管理者利用	利用可能日	一年中	利用可能時間帯	00:00～24:00	予約単位	60 分
	予約可能期限	本日から52 日	期限内予約時間制限	制限なし	予約利用	○
	利用資格申請	不要	予約時承認	不要	作業依頼	×
依頼：機構内	利用可能日	名大稼働日	利用可能時間帯	00:00～24:00	予約単位	60 分
	予約可能期限	本日から14 日	期限内予約時間制限	制限なし	予約利用	○
	利用資格申請	要	予約時承認	要	作業依頼	○
依頼：機構外>非営利	利用可能日	名大稼働日	利用可能時間帯	00:00～24:00	予約単位	60 分
	予約可能期限	本日から14 日	期限内予約時間制限	制限なし	予約利用	○
	利用資格申請	要	予約時承認	要	作業依頼	○
依頼：機構外>営利	利用可能日	名大稼働日	利用可能時間帯	00:00～24:00	予約単位	60 分
	予約可能期限	本日から14 日	期限内予約時間制限	制限なし	予約利用	○
	利用資格申請	要	予約時承認	要	作業依頼	○

設備利用料金

予約：機構内	単価3100円　単位60分　キャンセル料なし
予約：機構外>非営利	単価3100円　単位60分　キャンセル料なし
予約：機構外>営利	単価3800円　単位60分　キャンセル料なし
予約：特例>設備管理者利用	単価0円　単位60分　キャンセル料なし
予約：特例>設備管理者利用	単価0円　単位60分　キャンセル料なし
依頼：機構内	単価3100円　単位60分　キャンセル料なし
依頼：機構外>非営利	単価5900円　単位60分　キャンセル料なし
依頼：機構外>営利	単価7000円　単位60分　キャンセル料なし

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