東海国立大学機構設備・機器共用システム

お知らせ

共通 【重要なお知らせ】
 2024.7.5
 ステージの傾きを調整するメイクロメータの目盛りは、10mm以上にするとステージor試料が上部と接触する可能性があります。
 傾き調整をする場合は、十分に注意しながら行ってください。

 2023.5.8
 装置制御PCがウイルス感染していました。
 必ずウイルス対策ソフトでスキャン・駆除を行い、感染を拡げないようにしてください。


・本設備を「IB電子情報館南棟1階170号室」へ移動しました(2022/2/10)
・部屋の施錠    名大稼働日の7:00~19:00は開錠されています(時間外は施錠されます)
・除振台の圧縮空気 PC横の空気のストップバルブを開いてご利用ください


新規利用者のみ講習会受講が必要です。受講を希望される方は下記お問合せ先から設備管理者にご連絡ください

設備の詳細情報

ID441
設備名触針式段差膜厚計
型式Alpha-Step IQ
メーカーケーエルエー・テンコール株式会社
設備分野表面分析
設備紹介URLhttps://nuess.engg.nagoya-u.ac.jp/Alpha-StepIQ.html
設備概要膜厚、表面の形状(表面粗さ)等の測定/対象サンプル:基板上の薄膜、板状試料 (比較的硬いサンプル)
設置場所IB電子情報館南棟 1階 技術室(170号室)
部局名工学研究科
管理施設・講座名(利用料振込先)共用化委員会
共用対象機構内外
予約方法本システムから予約
お問合せ先等伊藤(h-ito[at]etech.engg.nagoya-u.ac.jp)、森野(morino[at]etech.engg.nagoya-u.ac.jp)[at]を@に変えて送信してください。

利用制限

予約:機構内利用可能日名大稼働日利用可能時間帯09:00~17:00予約単位60 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請予約時承認不要作業依頼×
予約:機構外>一律利用可能日名大稼働日利用可能時間帯09:00~17:00予約単位60 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>講習会・トレーニング利用可能日名大稼働日利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
予約:特例>電気グループ利用可能日一年中利用可能時間帯00:00~24:00予約単位10 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼×
依頼:機構内利用可能日名大稼働日利用可能時間帯09:00~17:00予約単位60 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用×
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼
依頼:機構外>一律利用可能日名大稼働日利用可能時間帯09:00~17:00予約単位60 分
予約可能期限本日から28 日期限内予約時間制限制限なし予約利用×
利用資格申請不要予約時承認不要作業依頼

設備利用料金

予約:機構内単価1020円 単位60分 キャンセル料なし
予約:機構外>一律単価1140円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>講習会・トレーニング単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
予約:特例>電気グループ単価0円 単位60分 キャンセル料なし
依頼:機構内単価2440円 単位60分 キャンセル料なし
依頼:機構外>一律単価3130円 単位60分 キャンセル料なし

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