共通 | 【重要なお知らせ】 2024.7.5 ステージの傾きを調整するメイクロメータの目盛りは、10mm以上にするとステージor試料が上部と接触する可能性があります。 傾き調整をする場合は、十分に注意しながら行ってください。 2023.5.8 装置制御PCがウイルス感染していました。 必ずウイルス対策ソフトでスキャン・駆除を行い、感染を拡げないようにしてください。 ・本設備を「IB電子情報館南棟1階170号室」へ移動しました(2022/2/10) ・部屋の施錠 名大稼働日の7:00~19:00は開錠されています(時間外は施錠されます) ・除振台の圧縮空気 PC横の空気のストップバルブを開いてご利用ください 新規利用者のみ講習会受講が必要です。受講を希望される方は下記お問合せ先から設備管理者にご連絡ください |
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ID | 441 | ![]() | ||
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設備名 | 触針式段差膜厚計 | |||
型式 | Alpha-Step IQ | |||
メーカー | ケーエルエー・テンコール株式会社 | |||
設備分野 | 表面分析 | |||
設備紹介URL | https://nuess.engg.nagoya-u.ac.jp/Alpha-StepIQ.html | |||
設備概要 | 膜厚、表面の形状(表面粗さ)等の測定/対象サンプル:基板上の薄膜、板状試料 (比較的硬いサンプル) | |||
設置場所 | IB電子情報館南棟 1階 技術室(170号室) | |||
部局名 | 工学研究科 | |||
管理施設・講座名(利用料振込先) | 共用化委員会 | |||
共用対象 | 機構内外 | |||
予約方法 | 本システムから予約 | |||
お問合せ先等 | 伊藤(h-ito[at]etech.engg.nagoya-u.ac.jp)、森野(morino[at]etech.engg.nagoya-u.ac.jp)[at]を@に変えて送信してください。 |
予約:機構内 | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 09:00~17:00 | 予約単位 | 60 分 |
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予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:機構外>一律 | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 09:00~17:00 | 予約単位 | 60 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>講習会・トレーニング | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
予約:特例>電気グループ | 利用可能日 | 一年中 | 利用可能時間帯 | 00:00~24:00 | 予約単位 | 10 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | × | |
依頼:機構内 | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 09:00~17:00 | 予約単位 | 60 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | × | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | ○ | |
依頼:機構外>一律 | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 09:00~17:00 | 予約単位 | 60 分 |
予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | × | |
利用資格申請 | 不要 | 予約時承認 | 不要 | 作業依頼 | ○ |
予約:機構内 | 単価1020円 単位60分 キャンセル料なし |
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予約:機構外>一律 | 単価1140円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>講習会・トレーニング | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
予約:特例>電気グループ | 単価0円 単位60分 キャンセル料なし |
依頼:機構内 | 単価2440円 単位60分 キャンセル料なし |
依頼:機構外>一律 | 単価3130円 単位60分 キャンセル料なし |