お知らせ
| 共通 | 講習会を受けて利用許可の出た方のみ使用できます。 |
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設備の詳細情報
| ID | 192 |  | ||
|---|---|---|---|---|
| 設備名 | マスクアライナ | |||
| 型式 | PLA-501(S) | |||
| メーカー | キャノン社製 | |||
| 設備分野 | 微細加工 | |||
| 設備紹介URL | http://nanofab.engg.nagoya-u.ac.jp/equipment2.html#1 | |||
| 設備概要 | 厚さ0.7μm以下の不定形試料に対応 | |||
| 設置場所 | 先端技術共同研究施設114(微細加工室) | |||
| 部局名 | 未来材料・システム研究所 | |||
| 管理施設・講座名（利用料振込先） | 工学研究科結晶材料工学専攻ナノ構造デバイス工学講座ナノ電子デバイス工学グループ | |||
| 共用対象 | 機構内外 | |||
| 予約方法 | 電話予約（3819） | |||
| お問合せ先等 | http://nanofab.engg.nagoya-u.ac.jp/index.html | |||
利用制限
| 予約：機構内 | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 09:00～17:00 | 予約単位 | 60 分 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
| 利用資格申請 | 要 | 予約時承認 | 要 | 作業依頼 | × | |
| 予約：機構外>非営利 | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 09:00～17:00 | 予約単位 | 60 分 |
| 予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
| 利用資格申請 | 要 | 予約時承認 | 要 | 作業依頼 | × | |
| 予約：機構外>営利 | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 09:00～17:00 | 予約単位 | 60 分 |
| 予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | ○ | |
| 利用資格申請 | 要 | 予約時承認 | 要 | 作業依頼 | × | |
| 依頼：機構内 | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 00:00～24:00 | 予約単位 | 60 分 |
| 予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | × | |
| 利用資格申請 | 要 | 予約時承認 | 要 | 作業依頼 | ○ | |
| 依頼：機構外>非営利 | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 00:00～24:00 | 予約単位 | 60 分 |
| 予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | × | |
| 利用資格申請 | 要 | 予約時承認 | 要 | 作業依頼 | ○ | |
| 依頼：機構外>営利 | 利用可能日 | 名大稼働日 | 利用可能時間帯 | 00:00～24:00 | 予約単位 | 60 分 |
| 予約可能期限 | 本日から28 日 | 期限内予約時間制限 | 制限なし | 予約利用 | × | |
| 利用資格申請 | 要 | 予約時承認 | 要 | 作業依頼 | ○ |
設備利用料金
| 予約：機構内 | 単価800円 単位60分 キャンセル料なし |
|---|---|
| 予約：機構外>非営利 | 単価1000円 単位60分 キャンセル料なし |
| 予約：機構外>営利 | 単価1600円 単位60分 キャンセル料なし |
| 依頼：機構内 | 単価800円 単位60分 キャンセル料なし |
| 依頼：機構外>非営利 | 単価4700円 単位60分 キャンセル料なし |
| 依頼：機構外>営利 | 単価5800円 単位60分 キャンセル料なし |