設備の詳細情報

ID	110
設備名	レーザ分光システム
型式	COMPex201, SCANmate 2E OG, SCANmate 2E, SCANmate UV
メーカー	ラムダフィジック社
設備分野	分光分析、材料、加工
設備紹介URL	http://nanofab.engg.nagoya-u.ac.jp/
設備概要	真空チャンバ内部の試料や計測対象に対し、波長可変で真空紫外領域のレーザ光を照射可能。波長205～900nmのレーザ光を用いた実験が可能。発振波長：205～900nm（～十数mJ）、115nm、121.5nm、130nm付近、発振周波数：～10Hz、パルス幅：20ns程度
設置場所	NIC 4階410
部局名	低温プラズマ科学研究センター
管理施設・講座名（利用料振込先）	低温プラズマ科学研究センター
共用対象	機構内外
予約方法	メール予約　電話予約
お問合せ先等	http://nanofab.engg.nagoya-u.ac.jp/index.html